近十多年來，科學技巧日新月異，對產(chǎn)品的高精巧度化、渺小型化之須要更為急切，同時對無塵沾染技巧的設計跟發(fā)展提出了更高的請求。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù)
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